中科飛測(688361)成立于2014年12月，2023年5月19日在上交所科創(chuàng)板上市。公司是國內(nèi)領(lǐng)先的高端半導(dǎo)體質(zhì)量控制設(shè)備公司，自成立以來始終專注于檢測和量測兩大類集成電路專用設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，其中檢測設(shè)備的銷售收入占公司主營業(yè)務(wù)收入的75%以上。公司產(chǎn)品用于集成電路前道制程和先進(jìn)封裝領(lǐng)域，客戶覆蓋集成電路前道制程、先進(jìn)封裝企業(yè)，以及相關(guān)設(shè)備、材料企業(yè)，已廣泛應(yīng)用在中芯國際、長江存儲、士蘭集科、長電科技、華天科技等國內(nèi)主流集成電路制造產(chǎn)線。

質(zhì)量控制設(shè)備為集成電路生產(chǎn)過程中的核心設(shè)備之一，是保證芯片生產(chǎn)良品率的關(guān)鍵。根據(jù)VLSI Research的統(tǒng)計，2020年半導(dǎo)體檢測和量測設(shè)備市場各類設(shè)備占比中，檢測設(shè)備占比為62.6%，包括無圖形晶圓缺陷檢測設(shè)備、圖形晶圓缺陷檢測設(shè)備、掩膜檢測設(shè)備等;量測設(shè)備占比為33.5%，包括三維形貌量測設(shè)備、薄膜膜厚量測設(shè)備、套刻精度量測設(shè)備、關(guān)鍵尺寸量測設(shè)備、掩膜量測設(shè)備等。

半導(dǎo)體量/檢測設(shè)備國產(chǎn)化率極低，國產(chǎn)替代潛力巨大。全球2021年量/檢測設(shè)備市場規(guī)模約100億美元，競爭格局集中，美國科磊KLA、美國應(yīng)用材料、日本日立位居前三，KLA(市占率54%)一家獨(dú)大。中國大陸市場進(jìn)口依賴度高，2021年國產(chǎn)化率僅3%，國內(nèi)主要有中科飛測、上海精測、上海睿勵(中微公司持股)及東方晶源等公司持續(xù)突破。目前國內(nèi)企業(yè)在圖形/無圖形晶圓檢測、膜厚/關(guān)鍵尺寸/套刻量測等多個細(xì)分領(lǐng)域持續(xù)發(fā)力突破，國內(nèi)廠商市占率有望進(jìn)入成長快車道，深度受益國產(chǎn)替代。

公司產(chǎn)品技術(shù)具有先進(jìn)性，已在多家客戶端投產(chǎn)。公司堅持自主研發(fā)核心技術(shù)，產(chǎn)品在同等工藝水平的關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)與國際競品相當(dāng)，并通過推進(jìn)先進(jìn)制程的設(shè)備研發(fā)，實現(xiàn)2Xnm制程的應(yīng)用突破。公司已有多臺設(shè)備在28nm產(chǎn)線通過驗收，另有對應(yīng)1Xnm產(chǎn)線的SPRUCE-900型號設(shè)備正在研發(fā)中，對應(yīng)2Xnm以下產(chǎn)線的DRAGONBLOOD-600型號設(shè)備正在產(chǎn)線進(jìn)行驗證，并已取得兩家客戶的訂單。在靈敏度方面，公司實現(xiàn)了無圖形晶圓缺陷檢測設(shè)備系列最小靈敏度23nm缺陷尺度的檢測，圖形晶圓缺陷檢測設(shè)備系列最小靈敏度0.5μm缺陷尺度的檢測，三維形貌量測設(shè)備系列和薄膜膜厚量測設(shè)備系列重復(fù)性精度的顯著提高，分別達(dá)到0.1nm和0.003nm。

公司正在積極研發(fā)納米圖形晶圓缺陷檢測設(shè)備等其他型號的設(shè)備，其對應(yīng)的市場份額為24.7%，這將進(jìn)一步提高公司產(chǎn)品線覆蓋的廣度，打開公司產(chǎn)品可觸達(dá)的市場空間。同時，公司也在進(jìn)行性能參數(shù)和功能等升級，升級型號產(chǎn)品銷售占比在2021年首次超過50%，成為公司主力銷售產(chǎn)品。公司本次募投項目達(dá)產(chǎn)后每年新增產(chǎn)能為230臺半導(dǎo)體質(zhì)量控制設(shè)備，技術(shù)迭代升級與產(chǎn)品覆蓋度提升能為消化新增產(chǎn)能提供有力保障。

平安證券表示，公司背靠中科院，在部分細(xì)分領(lǐng)域填補(bǔ)了國內(nèi)高端半導(dǎo)體質(zhì)量控制設(shè)備市場的空白，在手訂單快速增長。作為國內(nèi)檢測和量測設(shè)備的細(xì)分龍頭，隨著國內(nèi)晶圓廠的擴(kuò)產(chǎn)，以及美日等國家制裁下國內(nèi)集成電路制造產(chǎn)線對于設(shè)備自主可控的需求日益強(qiáng)烈，公司的銷售規(guī)模有望繼續(xù)擴(kuò)大，市場份額提升空間值得期待。預(yù)計2023-2025年公司的營收分別為7.29億元、10.29億元、14.15億元，看好公司中長期的市場份額提升潛力，首次覆蓋，給予“推薦”評級。

國聯(lián)證券表示，公司是國內(nèi)領(lǐng)先的半導(dǎo)體量檢測設(shè)備企業(yè)，現(xiàn)有生產(chǎn)場地使用已處于較為飽和狀態(tài)，隨著募投產(chǎn)能的釋放有望助力收入進(jìn)一步提升。預(yù)計公司2023-2025年收入分別為7.03億元、9.99億元、13.99億元，對應(yīng)增速分別為38.11%、42.01%、40.07%，歸母凈利潤分別為0.33億元、0.82億元、1.65億元，對應(yīng)增速分別為182.99%、147.83%、100.00%，對應(yīng)EPS分別為0.10元、0.26元、0.51元。新股上市，市值波動較大，建議持續(xù)關(guān)注。

記者 劉希瑋