為促進首臺(套)重大技術(shù)裝備創(chuàng)新發(fā)展和推廣應用，加強產(chǎn)業(yè)、財政、金融、科技等國家支持政策的協(xié)同，工業(yè)和信息化部近日印發(fā)《首臺(套)重大技術(shù)裝備推廣應用指導目錄(2024年版)》，在重大技術(shù)裝備文件列表中，列出了氟化氪光刻機和氟化氬光刻機。

光刻機技術(shù)是半導體工藝中的關(guān)鍵，決定了芯片晶體管尺寸大小，直接影響芯片性能和功耗。今年以來，國內(nèi)光刻設(shè)備及曝光工藝公開信息逐漸增多，國產(chǎn)光刻機技術(shù)持續(xù)迎來突破，投資者也從中尋找到了機遇。

“近日，靜默的股市被光刻機題材霸屏。有人認為是突破性題材，也有人認為是老調(diào)重彈。”網(wǎng)友“仲管仲222”表示，光刻機是一個老題材，類似人形機器人。不過，高端芯片尤其是人工智能芯片國產(chǎn)替代是無法證偽的邏輯。所以，芯片制作是一個非常期待的內(nèi)容，那么作為芯片制作的關(guān)鍵性設(shè)備光刻機成為聚焦點就是自然的方向。周三開盤后，張江高科股價大漲，它大概率代表了光刻機題材的走勢，近日多只概念股漲勢都不錯。除此之外，同飛股份、波長光電、海立股份等概念股都可以關(guān)注。

“國產(chǎn)光刻機技術(shù)的持續(xù)突破，讓不少機構(gòu)都在看好國內(nèi)晶圓廠的投資增長和國產(chǎn)半導體設(shè)備的國產(chǎn)化機遇。”網(wǎng)友“湯記熱干面”表示，國產(chǎn)光刻機取得重大突破，全球半導體格局或?qū)⒅匦孪磁啤９俜脚逗诵脑O(shè)備進展也會在一定程度上提振市場信心，國產(chǎn)光刻機相關(guān)產(chǎn)業(yè)鏈也會受益，相關(guān)概念股有張江高科、藍英裝備、新萊應材、東方嘉盛、國林科技、茂萊光學等。值得注意的是，除了光刻機，《首臺(套)重大技術(shù)裝備推廣應用指導目錄(2024年版)》中還涉及多類集成電路生產(chǎn)裝備，包括硅外延爐、濕法清洗機、氧化爐、涂膠顯影機、高能離子注入機、低能離子注入機、等離子干法刻蝕機、特種金屬膜層刻蝕機等。

記者 張曌 實習記者 孫瑋澤