為促進首臺(套)重大技術裝備創新發展和推廣應用，加強產業、財政、金融、科技等國家支持政策的協同，工業和信息化部近日印發《首臺(套)重大技術裝備推廣應用指導目錄(2024年版)》，在重大技術裝備文件列表中，列出了氟化氪光刻機和氟化氬光刻機。

光刻機技術是半導體工藝中的關鍵，決定了芯片晶體管尺寸大小，直接影響芯片性能和功耗。今年以來，國內光刻設備及曝光工藝公開信息逐漸增多，國產光刻機技術持續迎來突破，投資者也從中尋找到了機遇。

“近日，靜默的股市被光刻機題材霸屏。有人認為是突破性題材，也有人認為是老調重彈。”網友“仲管仲222”表示，光刻機是一個老題材，類似人形機器人。不過，高端芯片尤其是人工智能芯片國產替代是無法證偽的邏輯。所以，芯片制作是一個非常期待的內容，那么作為芯片制作的關鍵性設備光刻機成為聚焦點就是自然的方向。周三開盤后，張江高科股價大漲，它大概率代表了光刻機題材的走勢，近日多只概念股漲勢都不錯。除此之外，同飛股份、波長光電、海立股份等概念股都可以關注。

“國產光刻機技術的持續突破，讓不少機構都在看好國內晶圓廠的投資增長和國產半導體設備的國產化機遇。”網友“湯記熱干面”表示，國產光刻機取得重大突破，全球半導體格局或將重新洗牌。官方披露核心設備進展也會在一定程度上提振市場信心，國產光刻機相關產業鏈也會受益，相關概念股有張江高科、藍英裝備、新萊應材、東方嘉盛、國林科技、茂萊光學等。值得注意的是，除了光刻機，《首臺(套)重大技術裝備推廣應用指導目錄(2024年版)》中還涉及多類集成電路生產裝備，包括硅外延爐、濕法清洗機、氧化爐、涂膠顯影機、高能離子注入機、低能離子注入機、等離子干法刻蝕機、特種金屬膜層刻蝕機等。

記者 張曌 實習記者 孫瑋澤